“周董，你们是如何把光刻机工件台运动精度误差控制在如此低程度的？”

童院长此时开口开口问道。

“我们自身研制出了超高精度的脉冲编码器可以对直线电机进行纳米级别的移动，另外控制系统里面导入了动态误差补偿算法。”

周晓东说道：“我们在大功率脉冲电源技术和功率放大器技术上技术底子做得还是很不错的，自身能研制出直线电机超高精度的脉冲编码器和高精度驱动电源模块和高性能的功率放大器模块，这方面的技术我们比国外产商做得还要好。”

“另外我们自己研制的超高精度光栅尺可以做到一纳米的分辨率，运动定位误差在四纳米，性能比德意志的雷尼绍光栅产品还要好。”

“这……你们是如何做到的？”

童金亮吃惊地问道。

“是这样，我根据莫尔条纹及四倍频直接细分的原理自己写了一套细分算法，这套算法写入了一颗专用插值芯对前端输出的正交信号进行插值细分，再利用编程芯片对插值细分后的信号进行二次细分，通过测试验证后我们设计的这套电子细分盒实现了高达二百五十六倍的细分，目前德意志那边只能做到一百二十八倍的细分。”

“……”

在座的这些专家院士半天说不出话来。

“这套超高精度光栅尺装置做出来后和我们研制的直线电机产品配套，可以说解决了国产一众半导体设备超高精密运动部件运动测控定位的技术需要。”

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