“严格地说，是我们在光刻机设备的工件台这种关键部件系统上取得了突破，通过我们的试用测试，我们研制的工件台部件系统运动精度平均偏差控制在了四点五纳米，运动标准偏差做到了七纳米，按照这个技术指标来算的话，我们工件台系统可以满足六十五纳米制程工艺的光刻机设备需求。”

周晓东此时向一号首长汇报道。

“六十五纳米？”

一号首长此时瞪大了眼睛。

“是的，这是我们在实验生产线里面通过使用测试得到的数据，不过我们还在进行工件台装置的耐久可靠性方面的测试，这个测试过程差不多需要一年多，为的就是暴露出工件台各个子系统在长时间使用中潜在的故障，制定这方面的可靠性测试大纲，然后我们再进行从材料到子系统部件设计到工艺技术方面的改进优化，保证我们推出来的工件台装置可靠耐用。”

周晓东开口说道：“光刻机设备需要的镜头组系统我下面的玄思科技公司有在进行这方面的技术研发，主要是在研发磁流变抛光技术以及加工光学镜头的高精密检测设备，目前还只是处于技术验证测试阶段，样机还没有拿出来。”

“磁流变抛光技术？”

一号首长眼中露出疑惑的神情。

“这种磁流变抛光技术设备是由苏修发明的，研究这种超高精度抛光光学玻璃技术目前做得最好的是米国那家QED公司，目前已经推出了商用化的磁流变抛光设备，这主要是因为米国在苏修解体的时候将这个技术研发团队整个给挖到米国去了。”

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