“我在米国那边工作多年，对米国国内在知识产权严格管制方面是很清楚的，我这次回国要研制刻蚀设备要绕开国外几千个技术专利还是有很大的难度，不过星环科技公司目前研发的这种刻蚀工艺让我在设备技术上有了新的想法。”

罗志平对周晓东开口说道：“具体地来说，我们可以增强刻蚀设备在刻蚀形貌控制、均匀性控制、减少刻蚀损伤、刻蚀选择比提高等方面进行技术攻关，满足你们这种立体晶体管的刻蚀工艺要求，提高这种芯片器件的工艺性能和良率，这样的话我们在设备研制中至少可以发明上百项的技术专利。”

周晓东笑着说道：“罗先生，为了加快这种刻蚀设备的研发进度，我负责的三家公司是可以承担许多关键子系统部件研制工作的。”

他顿了顿说道：“别的不说，在刻蚀设备需要的这种脉冲射频电源这一块我完全有能力拿下来，另外刻蚀设备需要的硬件电路部分我们都可以按照罗先生的技术团队要求进行研制供应。”

周晓东开口说道：“目前我负责的三家公司搜罗了声光电磁和精密机械制造等技术领域的人才加起来已经是过万了，技术能力还是不错的。”

此时他笑着对罗志平说道：“承担研制刻蚀设备子系统部件的这些费用我们自己出，罗先生你的技术团队只管安心研发设计和集成这一块，国内其他的晶圆生产线愿不愿采购另说，不过岭南省这边的晶圆生产线是要优先采购使用这些刻蚀设备的。”

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